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主動隔振平臺STACIS IIIc

簡要描述:概述 STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。 STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用,因為標準STACIS III系

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-09-03
  • 訪  問  量:1090

詳細介紹

概述

STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用,因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。

在三隔離器配置中,隔離器高度小于常規STACIS III高度的60%。在具有3個以上隔離器的系統中,高度將在60%到70%之間,具體取決于有效負載設置。有關詳細信息,請參見下面的規格。

 

主動隔振平臺STACIS IIIc(圖1)

 

STACIS IIIc優勢

與常規STACIS III系統相比,隔離器高度**多降低42%,而性能卻沒有降低。

STACIS比空氣隔振器堅固數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟"懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在**狀態下運行。

的串行設計和專有的高力壓電技術 

可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的**主動隔振性能。
 

性能

主動隔振平臺STACIS IIIc(圖2)
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C 
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

性能規格

規格

主動自由度 6
主動帶寬 0.6 Hz - 150 Hz
被動固有頻率 18 Hz垂直和水平
有效的主動共振頻率 0.5 Hz
1 Hz時的隔振 40% - 70%
≥2 Hz時的隔振 ≥90%
10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間
(減少10:1)
0.3秒
內部噪音 <0.1 nm RMSd>
每個隔振器的工作負載范圍 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
剛度(1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
從距離隔振器**4英寸(102毫米)處發射的磁場 <0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

環境和安全 符合CE和RoHS標準
主動隔振元件 **小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷
被動隔振元件 單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)
振動傳感器元件 向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓
主動反饋控制回路 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動
隔振器尺寸(寬x深x高) 14.45 x 14.26 x 6.16* in.
367 x 362 x 157* mm
 
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量 53磅(24千克)
工作溫度 50° - 90° F
10° - 32° C
儲存溫度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
濕度 30 - 60%
系統電源要求 100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE標準
地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每個系統的隔振器數量 至少3個
可選附件 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩


DC-2020控制器規格

尺寸(寬 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm
重量 6.3磅(2.9千克)
處理器 150/75 MHz雙核
采樣率 10 kHz
模擬輸出 16個通道
模擬輸入 16個通道
狀態燈 單個LED
前面板端口 1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網RJ-45
2個BNC
后面板端口 1個串行USB 2.0
1個以太網RJ-45
1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器
用戶界面 前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴展GUI
嵌入式以太網GUI

STACIS用戶及應用領域
1、微電子、半導體
? 晶片檢測
? 顯微光刻技術
? 掩膜校準
2、科學研究、納米技術
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺
? 生命科學、藥物研發
4、工業應用
? 精密加工
 
為什么要選擇主動系統?
? 從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
? 提高質量、生產量
? 更加細小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動平臺更穩定
? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案
? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
 
主動系統為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲,提供了盡可能**的無震環境。
? 市場上**強勁的低頻隔振系統。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。
? STACIS**發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振系統,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。
 
STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百
穩定時間作為對擾動的響應,由于的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
 
如下優勢在業內都是**的
? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 
? 從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 
 
專業的環境調查
1、安裝前后的環境調查,包括震動、磁場、聲波
2、安裝后可提供環境系統體系認證
? 完善的環境調查服務
? 開具專業環境報告
? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 
? 40多年的行業經驗,業內的**
 
應用照片
主動隔振平臺STACIS IIIc(圖3)

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